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微透鏡（訂制品）
簡介：

微透鏡列陣元件是由通光孔徑為微米級及浮雕深度為微納米級的透鏡組成的列陣，可實現聚焦、成像、準直等功能，具有單元尺寸小、集成度高等優點。主要用于Shack-Hartmann波前傳感、紅外焦平面探測、CCD列陣光聚能、LD整形、激光列陣掃描、激光顯示、光纖耦合、光場相機、3D顯示、數字無掩膜光刻（DMD）等系統。
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產品詳情

1、 微透鏡(jing)列陣種(zhong)類

1.1二(er)元(yuan)微(wei)透鏡列陣
二元(yuan)微透鏡(jing)(jing)列陣指(zhi)(zhi)的(de)是利用臺階狀的(de)面形結(jie)構來趨近于連(lian)續浮(fu)雕結(jie)構的(de)微透鏡(jing)(jing)列陣。該元(yuan)件利用二元(yuan)掩模通過多(duo)次套刻完成多(duo)個(ge)臺階結(jie)構的(de)制備，可制備結(jie)構指(zhi)(zhi)標(biao)參數如下：
  • 波段范圍: 0.248μm ~10μm
  • 子(zi)口(kou)徑(jing)形狀：圓形、矩形、正六邊形、環形等
  • 子(zi)透(tou)鏡(jing)口徑：0.01mm~4mm
  • 透鏡材料：石英、硅、鍺、硒化鋅等
  • 典(dian)型臺階數：2、4、8、16
  • 衍(yan)射效率： 75%~95%


現有的二元微(wei)透(tou)鏡列陣列表如下，

波長（μm）

子口(kou)徑（μm）

口子(zi)徑形狀(zhuang)

焦距（mm）

列陣(zhen)數

基片尺寸(mm)

1.064

275×275

四(si)邊形

8

30*30

φ14′3

1.064

1000×1000

四邊形

30

16×16

φ30′5

0.55

1680（平行對邊）

六邊(bian)形

29.7

37×37

φ14′3

0.5

1680（平(ping)行(xing)對邊(bian)）

六(liu)邊形

69.8

7×9

φ20′3

1.064

1750×1750

正方(fang)形

90

6×6

φ20′3

1.2連續面形微(wei)透鏡(jing)列陣(zhen)

采用獨特的成形及面(mian)形控制技術(shu)，實現無衍射色差，適(shi)用于寬波段(duan)系統成像(xiang)和聚焦的高精度連續表(biao)面(mian)微(wei)透鏡列陣。

  • 數值孔徑：0.01~0.5； 
  • 透鏡(jing)面(mian)形：球面(mian)、拋(pao)物面(mian)、雙曲面(mian)等；
  • 面形(xing)誤(wu)差(cha)：<3%； 
  • 子(zi)透(tou)鏡口(kou)徑(jing)：5μm~4mm； 
  • 填充因子：> 98%；
  • 子孔徑形狀：四(si)邊(bian)形、六邊(bian)形、圓(yuan)形、矩形等；
  • 透鏡材料：石英、硅(gui)、鍺(zang)、硒化(hua)鋅、K9、氟化(hua)鈣(gai)、PMMA、PC等
1.2.1柱透鏡列陣
可以(yi)加工任意(yi)面形分(fen)布（如非球面）的微柱透鏡列陣，結(jie)構周期20μm~5mm，應(ying)用于(yu)光聚焦、整形(xing)(xing)等領域。下(xia)圖所(suo)示為本單位研制(zhi)的特殊面形(xing)(xing)的柱鏡結構，面形(xing)(xing)精 確控制(zhi)在50nm，表(biao)面粗糙度(du)小于(yu)10nm。
1.2.2 四(si)邊(bian)形(xing)微(wei)透鏡列陣
四(si)邊(bian)形微透鏡是指(zhi)口(kou)徑形狀為四(si)邊(bian)形或者按(an)照四(si)邊(bian)形排布的透鏡。可(ke)以定制口(kou)徑范圍在5μm~5mm之間的(de)四邊形微透(tou)鏡(jing)列陣。
四邊(bian)形微(wei)透鏡列陣列表如下，

子口徑（μm）

子口徑形狀

列(lie)陣數(shu)

可訂(ding)制焦距范圍（mm）

基片尺(chi)寸(mm)

20×20

正方形

2000×2000

0.1-1

可訂制

100×100

正方形

400×400

0.6-20

可訂(ding)制

150×150

正方形(xing)

300×300

1-60

可訂制

180×180

正方形(xing)

64×64

1.8-90

φ20′3

200×200

正方(fang)形

42×42

2-100

φ14′3

300×300

正方形(xing)

150×150

5-240

可(ke)訂制

400×400

正方(fang)形

21×21

9-440

φ14′3

500×500

正方形

80×80

14-680

可訂制

545×545

正方(fang)形

26×26

17-810

φ25′3

600×600

正方形

34×34

20-980

φ30′5

680×680

正(zheng)方(fang)形

24×24

25-1260

φ25′3

700×700

正方形(xing)

65×65

27-1340

可訂制

720×720

正方形

30×30

28.5-1400

φ45′5

800×800

正(zheng)方(fang)形

10×10

35-1750

φ20′3

850×850

正(zheng)方形

18×18

40-1970

φ20′3

1000×1000

正方形

25×25

55-2730

φ40′5

1200×1200

正方形

9×9

80-3940

φ20′3

1380×1380

正(zheng)方形

30×30

105-5200

φ60′6

1440×1440

正方形

26×26

115-5670

φ60′6

3300×3300

正方形

5×5

600-29780

φ25′3

1.2.3六邊形微透鏡列陣
六邊(bian)形(xing)微(wei)透鏡列(lie)陣指的是(shi)口徑形(xing)狀為六邊(bian)形(xing)或者按照六邊(bian)形(xing)排(pai)布的微(wei)透鏡列(lie)陣。可定制口徑大小在50um~5mm（透(tou)鏡(jing)中心(xin)間距）之(zhi)間的六邊形微透(tou)鏡(jing)列陣。
現有(you)六邊形微透(tou)鏡列(lie)陣列(lie)表如下(xia)，

子口徑（μm）

子口徑形(xing)狀(zhuang)

列陣數

可訂制焦距范圍（mm）

基(ji)片尺寸(mm)

207（平行(xing)對邊）

六邊形

13×13

1.2-88

φ14′3

259（平(ping)行對(dui)邊(bian)）

六(liu)邊形

77

2.5-183

φ14′3

300（中心間距(ju)）

圓(yuan)形(xing)（六邊形(xing)排布(bu)）

≥100×100

3.2-246

可訂制

336（平(ping)行對邊(bian)）

六邊形

17×17

4-308

φ14′3

480（平行(xing)對(dui)邊）

六(liu)邊(bian)形

17×19

8.4-630

φ14′3

1120（平行(xing)對(dui)邊）

六邊(bian)形

13′13

46-3430

φ25′3

1360（平行對邊）

六邊形

187

68-5000

φ25′3

1.2.4任意排(pai)布任意面形微透鏡(jing)列陣(zhen)
可(ke)以(yi)按照客戶的特殊(shu)需求訂制(zhi)任意面形(xing)任意排布(bu)的微透(tou)鏡列(lie)陣。以(yi)下為本(ben)單位所制(zhi)備的離軸(zhou)型微透(tou)鏡列(lie)陣的形(xing)貌(mao)圖以(yi)及(ji)焦斑圖。

2、微透(tou)鏡列陣典型應用(yong)

2.1哈特(te)曼波前傳感(gan)器
微(wei)透鏡(jing)列陣是夏克-哈(ha)特曼波(bo)前(qian)傳感器(qi)(qi)波(bo)前(qian)分割的(de)核心器(qi)(qi)件，通過計(ji)算其焦斑位置(zhi)的(de)偏移(yi)來測量波(bo)前(qian)。該波(bo)前(qian)傳感系(xi)統可應用于半導體制造、航空航天、眼科醫學(xue)等研(yan)究及工業加工領域的(de)高精度(du)、無損、在線波(bo)前(qian)檢測。
2.2 焦平(ping)面聚能器件
由于傳感器本(ben)身的(de)結構特點，感光(guang)元與感光(guang)元之(zhi)間存在間隙，這些(xie)間隙的(de)存在造(zao)成光(guang)入射能量的(de)極大(da)損(sun)失，利(li)用微透鏡列陣將原(yuan)本(ben)入射到這些(xie)間隙上(shang)的(de)光(guang)會聚(ju)到感光(guang)元上(shang)，可(ke)以極大(da)的(de)提高傳感器的(de)光(guang)能利(li)用率。
2.3光(guang)場相機
利用微透(tou)鏡(jing)列陣與(yu)場鏡(jing)之間的相互(hu)匹配，獲(huo)取(qu)大數(shu)據量豐富的圖像數(shu)據，利用后續算(suan)法可(ke)實現多景深圖像信(xin)息(xi)再現，進而可(ke)實現連續空間的數(shu)據獲(huo)取(qu)。
2.4三維顯示
利用微透(tou)鏡(jing)列(lie)陣與微結構圖形之間的相互作用，可(ke)實現三(san)(san)維(wei)立體影像(xiang)的獲取和(he)重現，進而發展可(ke)應用于包裝、防偽、3D印(yin)刷、立體廣(guang)告牌(pai)、三(san)(san)維(wei)影視(shi)、立體畫等(deng)技術領域。
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