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三維探針臺
簡介：

三維探針臺，由壓電馬達驅動，X-Y-Z三軸的行程均為12毫米，開環最小步長為0.3μm，探針可選配。專為科研實驗室中微米尺度/量級的力學、光學、電學、磁學、生物化學等性能測試打造的微米精度探針臺，并可增配閉環控制，實現亞微米精度的定位。

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